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Brooks熱式質(zhì)量流量計SLA系列資料

布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合，是一種能夠為您提供高精度性能和長(cháng)期穩定性并且經(jīng)濟有效的測量?jì)x器。

應用

化學(xué)品與石化分析和試驗過(guò)程

實(shí)驗室和分析系統

生命科學(xué)實(shí)驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過(guò)程

真空應用

參數

流體類(lèi)型  氣體

流量范圍  滿(mǎn)量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃

布魯克斯質(zhì)量流量設備得到廣泛應用的關(guān)鍵原因：

擁有業(yè)內種類(lèi)齊全的產(chǎn)品系列可滿(mǎn)足各種應用需求

創(chuàng )新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺設備完成氣體類(lèi)型和量程的切換工作并且無(wú)需從系統中拆除設備，同時(shí)還能夠提升過(guò)程氣體的測量準確性

產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備，專(zhuān)為滿(mǎn)足薄膜、半導體以及其他高科技行業(yè)需求而設計

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