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上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司是工廠(chǎng)、物流中心自動(dòng)化輸送線(xiàn)設計、制造、安裝調試的專(zhuān)業(yè)工程公司。公司位于中國經(jīng)濟中心上海，科研力量雄厚、機械制造業(yè)發(fā)達。經(jīng)多年的發(fā)展，公司不僅對傳統產(chǎn)品進(jìn)行不斷完善、革新，精致的零件加工，細節的關(guān)注，使我們的產(chǎn)品更安全、經(jīng)濟、穩定、美觀(guān)，更加自動(dòng)化、人性化。

Brooks布魯克斯GF100質(zhì)量流量控制器應用

GF100系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器*高純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。

現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿(mǎn)足上述需求。該產(chǎn)品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實(shí)現了精準的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專(zhuān)為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設計。

應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統

真空處理應用

適用于對濕度或氧氣敏感的過(guò)程

高純度流路可最大限度降低過(guò)程污染，提高產(chǎn)率

超快速響應能力

參數

流體類(lèi)型  氣體

流量范圍-滿(mǎn)量程容量  06 sccm - 300 slpm

精度   SP ±1%

最大壓力   150 psig

溫度   50℃

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